产品信息
- 半导体制造工厂使用的搬送系统
- OHT (空中走行式无人搬送车)
- OHS (空中走行式穿梭车)
- AGV (无人搬送车)
- 存储库
- 搬送控制/管理系统(MCS)
- 无尘自动化
- 产品信息
- 半导体制造工厂使用的搬送系统
- OHT (空中单轨无人驾驶搬运系统)
半导体制造工厂使用的搬送系统
OHT (空中走行式无人搬送车)
一种自动化搬送装置,能够在空中轨道上行驶,并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。
“OHT”是Overhead Hoist Transport的简称。这一系统被广泛认定为300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系统,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。