半导体制造工厂使用的搬送系统

OHS (空中走行式穿梭车)

一种自动化搬送装置，可在空中高架轨道上行驶从而带动载体。 “OHS”是Over Head Shuttle的简称。其主要用于在指定的保管设备（例如负责成膜和冲洗的工序区的存储库）之间搬送载体，其也称为“工序区间搬送系统”。